潔凈度在無(wú)塵車間的要求
發(fā)布者：hchkl888 發(fā)布時(shí)間：2012-11-16 11:32:00
應(yīng)用較為廣泛的是凈化垂直氣流 潔凈廠房，氣流是從吊頂?shù)腍EPA和超高效過(guò)濾器進(jìn)入，而地坪和墻面的排風(fēng)口排出。通常在微電子工業(yè)采用的高潔凈度潔凈廠房?jī)?nèi)單向氣流，由吊頂進(jìn)入經(jīng)多孔（雙層）地坪！出，以保證排除室內(nèi)的污垢（圖2.2a和圖2.3）。在化妝品工業(yè)和醫(yī)療部門不僅要清除粒。，并且還要清除微生物。出于表面消毒的需要，不采用雙層地坪。
由于氣流紛紛繞流過(guò)不同形狀的表面。在矩形銳邊障礙物的所有區(qū)內(nèi)會(huì)成空氣渦流，會(huì)：致粒子二次沉積的可能。當(dāng)空氣繞流過(guò)圓柱形物體或有圓弧形邊的物體時(shí)，空氣動(dòng)力特’陛：好得多，而位于這一區(qū)域空氣中的粒子也易于被清除。由此得出一項(xiàng)重要的經(jīng)驗(yàn)結(jié)論，即：潔凈廠房?jī)?nèi)，一切應(yīng)用物品和結(jié)構(gòu)均應(yīng)圓角和弧邊，而且表面光滑。
風(fēng)口構(gòu)造對(duì)蓽向氣流的質(zhì)量起著重要的影響，空氣就是通過(guò)風(fēng)口直接進(jìn)入潔凈廠房。風(fēng)口位于靜壓箱與潔凈廠房之間，或直接在HEPA過(guò)濾器與潔凈廠房 之間。風(fēng)口可呈柵狀，也可是單層或雙層網(wǎng)狀。重要之處在于通風(fēng)孔的大小和孔距�？拙嘣酱螅懊^(qū)”越大，氣流質(zhì)量越差。
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