四氟化碳 cf4電子氣體 中山四氟化碳 |
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包裝說(shuō)明: 47L DOT鋼瓶,鋼瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材質(zhì)閥門,閥門型號(hào)CGA660;40L高壓無(wú)縫鋼瓶,凈重30kg/瓶,瓶頭閥是銅質(zhì)閥門是QF-2,出口螺紋是G5/8 產(chǎn)品說(shuō)明: 四氟化碳是不燃燒的無(wú)色、無(wú)味的壓縮氣體,充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學(xué)穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。 注意事項(xiàng): 四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)倉(cāng)間內(nèi)。倉(cāng)內(nèi)溫度不宜超過(guò)60℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。防止陽(yáng)光直射。應(yīng)與易燃或可燃物分開(kāi)存放。驗(yàn)收時(shí)要注意品名,注意驗(yàn)瓶日期,先進(jìn)倉(cāng)的先發(fā)用。搬運(yùn)四氟化碳時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時(shí),應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng),加速擴(kuò)散。如有可能,即時(shí)使用。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。 |
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