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Tergeo系列等離子清洗機表面處理、親水處理、微流控、PDMS鍵合用

一、Tergeo等離子清洗機主要配置：

產(chǎn)品型號：	Tergeo	Tergeo ? Plus
腔室大�。�	內(nèi)徑φ110mm,深度280mm；	內(nèi)徑φ160mm,深度280mm；
腔室材質(zhì)：	高純度石英玻璃，相對于派瑞克斯（Pyrex）玻璃有著更強地性和更少地堿雜質(zhì)；
常用氣體：	空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮氣和其他混合氣體；
氣路控制：	標配兩路MFC，可選配三路MFC；
射頻頻率：	13.56 MHz，遠高于同條件下KHz頻率所產(chǎn)生的等離子密度；
射頻功率：	Tergeo 0~75W連續(xù)可調(diào)，可選配到150W； Tergeo Plus標配150W，可選配到300W和500W；射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調(diào)整；
程序設置：	共有20個可設置的程序配方，工作順序中多有三個清潔步驟。
用戶界面：	7英寸電阻觸摸屏，可用手指觸摸，無需手寫筆。
操作方法：	自動配方執(zhí)行：自動工作序列執(zhí)行;手動操作。

二、Tergeo等離子清洗機主要用途：

1、清洗納米級樣品；

2、蝕刻光刻膠，除渣、硅片清洗；

3、引線鍵合倒裝芯片底部填充，器件的封裝和解封；

4、PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗；

5、改善金屬與金屬或復合材料的結(jié)合；

6、聚合物上的官能團，實現(xiàn)親水或疏水潤濕性，提高粘合強度和可印刷性，促進醫(yī)療設備的生物相容性。

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