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ALICAT 氣體質(zhì)量流量計 MSQ系列

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優(yōu)于1的精度，測量 ，優(yōu)于10 ms響應(yīng)時間



美國ALICATmsq系列標準型質(zhì)量流量計，采用 技術(shù)的內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量計均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的MSQ系列數(shù)字式質(zhì)量流量計可用于快速地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。?

?數(shù)字化產(chǎn)品

?多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

?可選 可優(yōu)于0.5

?可測 ，0.01~

?響應(yīng)時間快，優(yōu)于10ms

?內(nèi)置98種氣體

?可現(xiàn)場標定混合氣體，并存儲20種混合氣

量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質(zhì)量流量普通精度??? ± 0.6 讀數(shù)或± 0.1 滿量程（取值）

質(zhì)量流量 ? ? ? ? ± 0.5 讀數(shù)或± 0.1 滿量程（取值）

重復(fù)性? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ±（0.1 讀數(shù) 0.02 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移??? ± 0.01滿量程/ ℃溫差

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.01滿量程/ Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移??? ± 0.01讀數(shù)/ ℃溫差

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1 讀數(shù)/ Atm壓力差

介質(zhì)要求??? 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類??? 內(nèi)置了98種氣體，請參考背面

? ? ? ? ? ? ? ? ? 一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量? ? ? ?程??? 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）

測量范圍??? 0.01～

顯示流量??? 128 滿量程

顯? 示? 屏??? 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式??? 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精? ? ? ?度??? ± （0.8 讀數(shù) 0.2 滿量程）見上段精度升級部分

? ? ? ? ? ? ? ? ? ± （0.4 讀數(shù) 0.2 滿量程）（可選）

累計流量精度??? 流量精度之外增加± 0.5 額外誤差

重? 復(fù)? 性? ??± （0.2 讀數(shù) 0.02 滿量程）

質(zhì)量流量溫度漂移??? 0.02 滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質(zhì)量流量壓力漂移??? ± （0.08 讀數(shù) 0.02 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

響應(yīng)時間??? 優(yōu)于10 ms ??

預(yù)熱時間 ???<1 s

標定工況??? 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調(diào)）

工作溫度??? -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度??? ± 0.75 ℃

工作濕度??? 0 ～ 95，無冷凝

工作壓力??? 1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

操作壓力??? 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度??? ± 0.5 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

進出口壓差??? 0.5MPa

滿量程壓損??? 參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率??? 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率??? 10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號??? RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選 路模擬輸出??? 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度??? 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 量程誤差

供電電壓??? 7-30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）

供電電流??? 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口??? DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）??? 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材? ? ? ?質(zhì)??? 302不銹鋼、Viton、RTV、玻璃增強尼龍、鋁

過程連接??? 詳情參考壓損表

安裝方式??? 對位置無要求

防護等級??? IP40

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