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供應(yīng)Horiba數(shù)字式質(zhì)量流量計Z514、Z512***流量計

	價格：1.70 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時間：2024-04-25 19:15:53	瀏覽量：55
	上海進申工貿(mào)有限公司
	經(jīng)營模式：貿(mào)易公司	公司類型：私營合伙企業(yè)
	所屬行業(yè)：物位儀表	主要客戶：電子半導(dǎo)體，石油化工
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:王先生 (先生)	手機:13764255441
電話:	傳真:
郵箱:wanglei@shanghai-inst.com	地址:上海浦東新區(qū)峨山路77號金牛大廈南樓1002A室

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	horiba
產(chǎn)品特性	EP級內(nèi)拋光
是否進口	否
產(chǎn)地	日本
加工定制	否
測量范圍	0.6m3/h
精度等級	1
公稱通徑	6mm
適用介質(zhì)	腐蝕性氣體
工作壓力	1MPa
工作溫度	25℃
規(guī)格	Z512、Z514
輸出信號	0-5V，或者RS485
接口尺寸	1/4MVCR
潔凈度等級	EP級
適用設(shè)備	半導(dǎo)體設(shè)備
可售賣地	全國
類型	質(zhì)量流量計
型號	Z512

供應(yīng)Horiba 數(shù)字式質(zhì)量流量計Z514、Z512 流量計

型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內(nèi)組裝模擬型：HoribaS48 28、horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212??????

產(chǎn)品概述

日本horiba Z514、Z524數(shù)字式質(zhì)量流量控制器屬于SEC-500X系列，數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，我公司提供 Z514、Z524，保修期1年。

產(chǎn)品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
2) 超 ±1.0 S.P. (25- F.S.); ±0.25 F.S. (≤25 F.S.);
3) 快速響應(yīng) lt;1秒>4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器完全兼容;
7) 模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時進行;

氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；

?SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)

產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式?

型號*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGXSEC-Z514MGXSEC-Z524MGXN SEC-Z524MGX全標準流量(N2 轉(zhuǎn)換流量)1/2SCCM10SCCM-10SLPM10-50SLM閥門類型O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉完全關(guān)閉控制閥時的流量≤ 2 F.S.流量測量范圍0- of F.S 性*2±1.0F.S.±1.0S.P.(流量>25F.S.)±0.25F.S.(流量≤25F.S.)工作溫度5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)響應(yīng)≤ 1 秒:超過全流量范圍直線性≤ ±0.5 F.S.反復(fù)性≤ ±0.2 F.S.工作壓差值≤ 300 kPa (d)zui大工作壓力450 kPa (g)耐壓1000 kPa (g)外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)流量設(shè)定信號0.1 - 5 V DC (2 - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高流量輸出信號0 -5 V DC (0 - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高數(shù)字界面地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)F-Net 協(xié)議,DevceNet接液部材質(zhì)316L 不銹鋼(表面拋光)電源 15V±5 150mA-15V±5 150mA信號反應(yīng)模擬: D-Sub 9-pin (TOP)數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)標準接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS安裝方向自由

?

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意：

?請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換，請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。

?

本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量控制器

進口數(shù)字型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

進口 數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口 模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30?PO、LV-F30?PO、LV-F40 PO、LV-F50

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