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超高真空 (UHV) 光柵

特性：

? 由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低

? 殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境

? 120 °C烘焙溫度

? 非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

? 無氣密孔

? 高精度直線光柵和圓光柵系列

對于許多工業(yè)加工過程而言，如果環(huán)境中存在大量的空氣或其他氣體，則會對成品的質(zhì)量造成損害，因此加工過程必須在一個殘余壓力水平極低的真空環(huán)境內(nèi)進(jìn)行。如果這些加工過程涉及運動控制，則必須用到真空兼容型光柵系統(tǒng)。

雷尼紹超高真空 (UHV) 兼容光柵系列中的所有產(chǎn)品都經(jīng)過專門設(shè)計，用于各種科研、半導(dǎo)體和其他高級工業(yè)應(yīng)用場合，真空壓力達(dá)10-10 Torr。其基本工作原理與我們的同類標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的產(chǎn)品相同，但是UHV光柵在設(shè)計上消除了氣密孔，并且由潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成。產(chǎn)品在UHV環(huán)境下的適用性已獲得獨立的專業(yè)檢驗機(jī)構(gòu)鑒定，包括殘留氣體分析 (RGA) 光譜測試（可應(yīng)要求提供）。

RESOLUTE?光柵系列

RESOLUTE系列是一款真正意義的絕對式、精細(xì)柵距光柵系統(tǒng)。它具有極強的抗污能力，其超凡的技術(shù)指標(biāo)更是位置反饋領(lǐng)域的一大新突破。它是世界上第一款能夠在100 m/s的速度下實現(xiàn)1 nm分辨率（直線光柵系統(tǒng)），在36,000轉(zhuǎn)/分的速度下實現(xiàn)32位分辨率（圓光柵系統(tǒng)）的絕對式光柵。超低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和抖動使該直線光柵系統(tǒng)從同類光柵中脫穎而出。

此外，其還具有三個特定應(yīng)用型號：

? RESOLUTE UHV（超高真空）為低至10-10 Torr的超高真空應(yīng)用提供絕對式光柵技術(shù)，幫助客戶提高生產(chǎn)效率，降低損壞風(fēng)險，并增強可靠性。

? RESOLUTE ETR（寬溫度范圍）是一款真正意義的絕對式、精細(xì)柵距光柵系統(tǒng)，可以在溫度極高和極低的環(huán)境下工作。

? RESOLUTE FS（功能安全）已獲得SIL2和PLd認(rèn)證，可用于功能安全應(yīng)用。

RESOLUTE可配用選裝的高級診斷工具ADTa-100和ADT View軟件：可提供實時光柵數(shù)據(jù)反饋，輔助光柵安裝和現(xiàn)場查錯。

TONiC?光柵系列

TONiC系列是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng)，速度可達(dá)10 m/s，與Ti接口配套使用時，在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。由于安裝公差寬松，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC光柵的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤差超低，通常小于±30 nm，從而有助于實現(xiàn)卓越的運動控制性能。

此外，其還具有兩個特定應(yīng)用型號：

TONiC UHV將增量式光柵技術(shù)引入低至10-10 Torr的超高真空應(yīng)用中，這類應(yīng)用要求在緊湊的外形中保持高性能。

TONiC FS（功能安全）已獲得SIL2和PLd認(rèn)證，可用于功能安全應(yīng)用。