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JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S
JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S 價格:\u9762\u8bae  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海上海
最少起訂量:1 發(fā)貨地:上海上海
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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司  
經(jīng)營模式:貿(mào)易公司 公司類型:私營股份有限公司
所屬行業(yè):綜合 主要客戶:華東地區(qū)
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐) 手機:15026865822
電話: 傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com 地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號蓮花大廈3樓B座

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌JEL
品名機械手臂
軸數(shù)3軸
英文名wafer robot
產(chǎn)地中國
加工定制
機械手臂標準臂長90mm
晶圓固定方式真空吸附式,下托式
使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂單臂
到達距離175mm
升降軸最大行程150mm
可搬運質(zhì)量0.1kg
可售賣地北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
類型圓柱坐標型
型號SSCR3090S




JEL SSCR3090S小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點:
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列
適用于半導體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運,通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸,
有利于實現(xiàn)設(shè)備的小型化
機械手臂標準臂長:90mm
同SSCR2090S-PM兼容,連桿式手臂,可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸使用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式:真空吸附式,下托式
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指


小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S基本參數(shù):
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達距離 175mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 150mm
可搬運質(zhì)量 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關(guān)節(jié)處基準)


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