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真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3330S-060-PM

	價格：\u9762\u8bae 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時間：2025-01-11 06:19:21	瀏覽量：8
	上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
	經(jīng)營模式：貿(mào)易公司	公司類型：私營股份有限公司
	所屬行業(yè)：綜合	主要客戶：華東地區(qū)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐)	手機:15026865822
電話:	傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com	地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號蓮花大廈3樓B座

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	JEL
品名	機械手臂
加工定制	否
產(chǎn)地	中國
手指材質(zhì)	CFRP(碳纖維)
鋁合金
晶圓固定方式	下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
控制通訊方式	RS232C及并口I/O方式
使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空
手臂	單臂
到達距離	640mm
升降軸最大行程	60mm
可搬運質(zhì)量	10kg
英文名	wafer transfer robot
軸數(shù)	3軸
可售賣地	北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
型號	SVCR3330S-060-PM

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3330S-060-PM特點：
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3000系列
雙手指結(jié)構(gòu)可以在真空腔室內(nèi)搬運4kg以下的托盤
相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優(yōu)勢
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
可以選配2相步進電機規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供最優(yōu)的手指

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3330S-060-PM基本參數(shù)：
使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空
手臂單臂
到達距離 640mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 60mm
可搬運質(zhì)量 10kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))

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