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JEL真空機(jī)械手3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SVCR3260
JEL真空機(jī)械手3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SVCR3260 價(jià)格：5000.00  元(人民幣) 產(chǎn)地：上海上海
最少起訂量：1 發(fā)貨地：上海上海
上架時(shí)間：2025-04-09 16:54:31 瀏覽量：5
上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司  
經(jīng)營模式：貿(mào)易公司 公司類型：私營股份有限公司
所屬行業(yè)：綜合 主要客戶：華東地區(qū)
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐) 手機(jī):15026865822
電話: 傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com 地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號蓮花大廈3樓B座

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌JEL
工作范圍晶圓搬運(yùn)
是否進(jìn)口是
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長160mm
190mm
260mm
通訊方式RS232C及并口I/O方式
手指材質(zhì)CFRP(碳纖維)
鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
手臂數(shù)單臂
到達(dá)距離520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程20mm / 40mm
可搬運(yùn)質(zhì)量2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
使用環(huán)境真空部：溫度 15℃～50℃
數(shù)量1
產(chǎn)地日本
可售賣地全國
用途適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn)
型號SVCR3260


真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn)
相比SVHR系列機(jī)械手臂，可搬運(yùn)質(zhì)量提升2倍，具有較好的性價(jià)比優(yōu)勢
另外還保持了和SVHR系列機(jī)械手臂的兼容性，方便客戶對設(shè)備進(jìn)行升級改造
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm


手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式


全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供最優(yōu)的手指


SVCR3260真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境
真空部：溫度 15℃～50℃
驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
溫度 15℃～40℃
手臂 單臂
到達(dá)距離：520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 20mm / 40mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))


如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們

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