| 產(chǎn)品參數(shù) | | 品牌 | JEL | | 英文名 | wafer robot | | 品名 | 晶圓機(jī)械手 | | 軸數(shù) | 4軸 | | 產(chǎn)地 | 中國 | | 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長 | 160mm | | 200mm | | 控制通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | | 晶圓固定方式 | 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 | | 使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 | | 手臂 | 雙臂 | | 到達(dá)距離 | 315mm | | 升降軸最大行程 | 300mm / 400mm / 500mm | | 可搬運(yùn)質(zhì)量 | 4kg | | 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | | 類型 | 圓柱坐標(biāo)型 | | 型號 | MTCR4160 | | 
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wafer robot晶圓機(jī)械手_4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械臂MTCR4160特點(diǎn)：
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MTCR4000系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)
全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求
比MTHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 200mm
雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指
4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂MTCR4160基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 雙臂
到達(dá)距離 315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
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