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傳感器微型化小型化成發(fā)展方向

微型(小型)傳感器不僅僅指?jìng)鞲衅鞯捏w積小、質(zhì)量輕。就單一的傳感器而言，微型傳感器是指尺寸微小的傳感器，如敏感元件的尺寸從微米級(jí)到毫米級(jí)、甚至達(dá)到納米級(jí)，主要采用精密加工、微電子以及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)傳感器尺寸的縮小；就集成的傳感器而言，微傳感器是指將微小的敏感元件、信號(hào)處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成傳感器；就傳感器系統(tǒng)而言，微傳感器是指?jìng)鞲邢到y(tǒng)中不但包括微傳感器，還包括微執(zhí)行器，可以獨(dú)立工作，甚至由多個(gè)微傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò)，或者可實(shí)現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。

傳感器技術(shù)現(xiàn)在已經(jīng)是在逐漸的成熟，現(xiàn)今傳感器的另一個(gè)發(fā)展方向是微型化。在汽車電子化、智能化工程中，傳統(tǒng)傳感器的體積和重量大、成本高，應(yīng)用受到限制，在此條件之下微型傳感器應(yīng)運(yùn)而生。

就市場(chǎng)占有率來講，微型傳感器是目前最為成功并最具實(shí)用性的微型機(jī)電器件，目前，微型傳感器已在汽車應(yīng)用和提高員工效率等方面積累了良好的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。其次，由于微型傳感器具有體積小、功能新、便于大批量生產(chǎn)、單件成本低等優(yōu)勢(shì)，傳感器微型化發(fā)展可以說是前途一片光明。