光波干涉原理平行平晶 |
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光波干涉原理平行平晶
平行平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。 平行平晶具有高精度的平面性和平行性。 平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。平行平晶共分四個系列,每個系列各分六組,每組四塊。
功能:平行平晶用于干涉法測量千分尺、卡規(guī)和千分表等測量面平面度、平面平行度。 產(chǎn)品規(guī)格: 每組平行平晶共四塊,分四個尺寸系列組 測量面上平面度偏差:<0.1μm 平面度局部偏差: >0.03μm 測量面平行度誤差: 組Ⅰ系列允差值:0.06μm 組Ⅱ、Ⅲ系列允差值:0.08μm 組Ⅳ系列允差值:0.1μm
平行平晶尺寸系列表
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