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靜電卡盤

	價(jià)格：元(人民幣)	產(chǎn)地：本地
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：本地至全國
	上架時(shí)間：2022-07-31 03:45:53	瀏覽量：199
	北京朗銘潤德光電科技有限公司
	經(jīng)營模式：其他	公司類型：[db:公司類型]
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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

品牌產(chǎn)地類別應(yīng)用領(lǐng)域

其他品牌	進(jìn)口
醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子

靜電夾持卡盤，品牌：ECM，型號：E-Chucks

詳情介紹

品牌：ECM

型號：E-Chucks

ECM是一個(gè)擁有30多年成功的技術(shù)公司。公司具有一支創(chuàng)新型PVD，CVD，熱/室溫/低溫，離子注入，刻蝕等檢測隊(duì)伍。依靠完整的熱解決方案，包含加熱/冷卻基座/BSG整治線小型或大批量生產(chǎn)能力，通過高質(zhì)量產(chǎn)品和生產(chǎn)工藝一致性，成為客戶滿意的生產(chǎn)單位。北京朗銘潤德光電有限公司作為ECM公司E-Chucks靜電夾持卡盤設(shè)備的代理，為中國的廣大客戶提供完善的技術(shù)支持和售后支持。

產(chǎn)品用途:靜電夾持卡盤基于電容技術(shù)同時(shí)可以整合基片的冷卻和加熱。用于PVD，CVD, 干法刻蝕，離子植入等設(shè)備。

適用襯底材料:硅，三五族化合物半導(dǎo)體和絕緣體等。

適用襯底尺寸: *大450mm直徑基片。

可根據(jù)客戶要求定制。

合作客戶部分名單:

Evatec、Lam、0xford、Sentech、Applied materia1s、A1cate1、Oerl1ikon、Acia system、SPTS、HMI、CAMECA、Po1yteknik、Samsung等

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