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Lubricants for the Cleanroom Technology

無塵室潤(rùn)滑脂

介紹

以下描述的潤(rùn)滑脂產(chǎn)品數(shù)據(jù)屬于LOSIMOL 無塵室潤(rùn)滑脂系列，特別用于無塵技術(shù)的需求。這表明無塵室潤(rùn)滑脂不僅具有摩擦學(xué)特性而且滿足無塵技術(shù)的特殊需求，如顆粒的數(shù)量和大小。因此LOSIMOL無塵室潤(rùn)滑脂根據(jù)以上兩點(diǎn)進(jìn)行分類。

無塵特性

微粒發(fā)散行為和微粒大小分布結(jié)果在標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境下確定。一種半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的晶片定位部件作為測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。

圖.1 潤(rùn)滑脂的顆粒發(fā)散

SM 1=CRL 68200   SM 3=CRL 16615   SM 5=CRL 90110

SM 2=CRL 22680   SM 4=CRL 50090   SM 6=CRL 61015  SM 7=CRL 97902

顆粒物的擴(kuò)散（擴(kuò)散粒子的數(shù)量）

表一說明了潤(rùn)滑劑平均粒子擴(kuò)散與其他無塵系列潤(rùn)滑劑的比較。被測(cè)試粒子（大于0.1um）通常是被摩擦系統(tǒng)釋放出來的顆粒物。因此定位儀的粒子和潤(rùn)滑劑摩擦釋放出來的粒子都被檢測(cè)到。圖表顯示每種潤(rùn)滑脂的發(fā)散顆粒的數(shù)量有著很大的差別。

顆粒物大小分布

除了顆粒的發(fā)散，對(duì)于許多應(yīng)用中發(fā)散顆粒大小的分布也是一個(gè)重要的選擇標(biāo)準(zhǔn)。

因?yàn)椴煌瑵?rùn)滑脂可能散發(fā)許多完全不同顆粒大小分布的微粒。

依賴產(chǎn)品的污染靈敏度會(huì)導(dǎo)致不同程度的污染。

               LOSIMOL無塵室潤(rùn)滑脂

工業(yè)中的許多產(chǎn)品（如微電子和光學(xué)工業(yè)）對(duì)于顆粒污染變得越來越敏感。為了降低顆粒污染，這就意味著需要高無塵等級(jí)的產(chǎn)品。在生產(chǎn)過程中生產(chǎn)環(huán)境的清潔只有通過生產(chǎn)設(shè)備，產(chǎn)生和釋放盡可能少的顆粒物來保證。設(shè)計(jì)和操作的設(shè)備根據(jù)無塵室適合性的需求來滿足這個(gè)要求。

因?yàn)榈湫偷脑O(shè)備需要被潤(rùn)滑如發(fā)動(dòng)機(jī)，發(fā)動(dòng)機(jī)傳輸部件或軸承，合適的無塵室潤(rùn)滑劑的選擇變得尤為重要。

以下你可以發(fā)現(xiàn)適宜無塵室潤(rùn)滑劑的重要標(biāo)準(zhǔn)：

- 很大的降低潤(rùn)滑部件的磨損

- 較小的顆粒發(fā)散和滴漏傾向

- 微小的氣體污染或揮發(fā)

- 抗老化（UV）

- 高抵抗?jié)櫥考牧虾铜h(huán)境介質(zhì)

- 很少數(shù)量的外來顆粒

目前由于用于無塵室的許多潤(rùn)滑脂總是不滿足以上這些要求，LOSIMOL開發(fā)研制了一系列特殊無塵室潤(rùn)滑脂。他們已經(jīng)通過在佛朗赫弗協(xié)會(huì)的半導(dǎo)體制造設(shè)備和德國(guó)斯圖加特自動(dòng)控制（IPA）測(cè)試中心測(cè)試無塵室等級(jí)為一級(jí)。

測(cè)試結(jié)果表明摩擦系統(tǒng)的總發(fā)散顆粒的數(shù)量受潤(rùn)滑劑的影響很大。如果相同的部件用不同的潤(rùn)滑劑潤(rùn)滑，在相同的條件下顆粒發(fā)散水平可能不同甚至超過100％。發(fā)散顆粒的大小分布也同樣依賴所使用的潤(rùn)滑劑。