精密電子半導(dǎo)體公司無塵車間安裝,凈化車間工程 |
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精密電子半導(dǎo)體公司無塵車間安裝,凈化車間工程
下圖為已完工的實(shí)拍圖片: ![]() 所謂半導(dǎo)體電子無塵車間,指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)凈化車間(即每立方米所含0.5微米的灰塵數(shù)量小于或者等于3520顆),1000級(jí)(小于35200個(gè)),10000級(jí)(小于352000顆),100000級(jí)(小于3500000顆) ![]()
在絕大多數(shù)情況下,無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低,過濾器的使用效果越好。風(fēng)量越大也就潔凈的越高,萬級(jí)凈化車間已經(jīng)可以滿足半導(dǎo)體的工藝要求!
小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯,風(fēng)速低了,氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些,粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物,因此過濾效率就高。
經(jīng)驗(yàn)表明,對(duì)于凈化車間的高效過濾器,風(fēng)量減少一半,粉塵的透過率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9),風(fēng)量增加一倍,透過率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。與擴(kuò)散的效果類似,當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng),被材料吸附的可能性就越大。因此在凈化工程裝修時(shí)就需要考慮到防靜電以及恒溫恒濕的技術(shù)設(shè)計(jì),帶靜電材料的過濾效率會(huì)明顯改變。
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如果你知道材料上有靜電,那你需要做的便是做好防靜電處理,靜電處理方式有防靜電地板,防靜電柱體結(jié)構(gòu)以及防靜電樁以及防靜電手環(huán)等等...
一般用戶很難實(shí)際觀察到風(fēng)速對(duì)過濾效率的影響,但觀察風(fēng)速對(duì)阻力的影響要容易得多。
對(duì)于高效過濾器,氣流穿過濾材的速度一般在0.01~0.04m/s,在這個(gè)范圍內(nèi),過濾器的阻力與過濾風(fēng)量呈正比關(guān)系。
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例如,一只484×484×220mm的高效過濾器,在額定風(fēng)量1000m3/h下的初阻力為250Pa,如果使用中的實(shí)際風(fēng)量是500m3/h,它的初阻力可降為125Pa。這個(gè)就是凈化車間工程中需要應(yīng)用和核算的數(shù)據(jù)!對(duì)于精密電子半導(dǎo)體無塵車間可以參考
對(duì)于空調(diào)箱中的一般通風(fēng)用過濾器,氣流穿過濾材的速度在0.13~1.0m/s范圍內(nèi),阻力與風(fēng)量不再是線性關(guān)系,而是一條上揚(yáng)的弧線,風(fēng)量增加30%,阻力可能會(huì)增加50%,若過濾器阻力對(duì)你來說是個(gè)非常重要的參數(shù),你就要向過濾器供應(yīng)商索要阻力曲線。
以上內(nèi)容為我公司的凈化車間施工心得,歡迎來人或來電咨詢相關(guān)業(yè)務(wù)! |
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