| 日本KOFLOC DF-200C數(shù)字質(zhì)量流量控制器 高精度質(zhì)量流量控制器 |
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價(jià)格：9800 元(人民幣) | 產(chǎn)地：日本 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時(shí)間：2022-06-23 12:53:24 | 瀏覽量：985 | |
北京芯笙微納電子科技有限公司
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| 經(jīng)營模式： | 公司類型：其他有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具 | 主要客戶： | |
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DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可在1秒（全范圍）內(nèi)實(shí)現(xiàn)±1％SP的精度和響應(yīng)。
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| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） | ||
| 目標(biāo)氣體（* 1） |
多氣體： N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） |
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| 流量范圍（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | ||
| 控制范圍 | 2至100％（F.S.） | ||
| 反應(yīng)能力（* 4） | 總流量控制范圍在1秒內(nèi)（±2％F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 5） |
±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） |
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| 再現(xiàn)性 | ±0.25％FS | ||
| 工作壓差（* 6） | 50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） | ||
| 入口壓力 | 500kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 |
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