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半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器
半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器 價格：15800  元(人民幣) 產地：美股
最少起訂量：1臺 發(fā)貨地：北京
上架時間：2022-06-27 09:39:55 瀏覽量：203
北京芯笙微納電子科技有限公司  
經營模式： 公司類型：其他有限責任公司
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詳細介紹

半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器  MCV系列真空氣體質量流量控制器是真空專用設備。MCE系列產品的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現(xiàn)端對端的匹配連接。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現(xiàn)污染情況。

  • 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
  • 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業(yè)網絡中。
  • 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動

半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器 

  • 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
  • 可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
  • 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
  • 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
  • 可重復性：0.2%滿量程
  • 標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節(jié)功能，可縮短至25ms）
  • 氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
  • 無需預熱時間

工作條件

  • 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
  • 工作溫度：-10°C至+60°C
  • 內部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）
  • STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器 MCV系列包裝清單：

配件（需另行訂購）



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