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半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器 價(jià)格：9980  元(人民幣) 產(chǎn)地：美國
最少起訂量：1臺(tái) 發(fā)貨地：北京
上架時(shí)間：2022-07-01 10:00:13 瀏覽量：287
北京芯笙微納電子科技有限公司  
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詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)端對端的匹配連接。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動(dòng)截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時(shí)出現(xiàn)污染情況。

  • 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
  • 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
  • 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。

半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器


型號變體

  • 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
  • 閥門內(nèi)置并加裝氣動(dòng)截止閥的型號，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
  • 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

另有：

  • 閥門安裝在外部的標(biāo)準(zhǔn)配置型號(MC系列)

半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器

閥門選項(xiàng)

您可以為您的質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持性能。

  • MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
  • MCV系列—選配內(nèi)部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動(dòng)截止閥

艾里卡特MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個(gè)下游用的氣動(dòng)截止閥。

MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
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