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halar,ectfe,pfa,etfe,pctfe,半導(dǎo)體橡膠圈,半導(dǎo)體晶圓花籃,50%濃度酸性槽液浸泡涂層不起泡,不脫層 PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA ,高純,半導(dǎo)體研磨盤PFA閥門,應(yīng)用石英石晶 圓花籃,半導(dǎo)體清洗槽,半導(dǎo)體設(shè)備 蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導(dǎo)體清洗槽設(shè)備涂層加工超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級, 否則會污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能, 抵御各類強酸強堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會滲透 進入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓 產(chǎn)品案例 8/12寸晶圓花籃由于強度 載重原因,部分無法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞 叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時, 會造成晶圓劃傷,需要表 面進行防護,同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運臂 純度:PPB級 厚度:100-800?m 耐酸:濃酸+硝酸 硬度:4H 顏色:黑色,白色,透明 |
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