太陽能光伏擴(kuò)散爐 |
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價格:1 元(人民幣) | 產(chǎn)地:山東青島市 |
最少起訂量:1臺 | 發(fā)貨地:山東青島市 | |
上架時間:2024-10-21 08:26:25 | 瀏覽量:18 | |
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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經(jīng)營模式: | 公司類型: | |
所屬行業(yè):電子產(chǎn)品制造設(shè)備 | 主要客戶: | |
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聯(lián)系人:徐魯陽 (小姐) | 手機:13668894181 |
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太陽能擴(kuò)散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴(kuò)散工藝。目前有第二代閉管擴(kuò)散爐和第三代軟著陸擴(kuò)散爐。 技術(shù)指標(biāo): 可處理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm 外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu) 載片量:400片/管 擴(kuò)散方式:閉管擴(kuò)散、軟著陸全封閉 工作溫度:200℃—1300℃ 恒溫區(qū)長度及精度:200mm—1100mm≤±1℃ 單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性: ≤±1℃/24h 溫度控制:5段控溫 總功率:120KVA 送片裝置:懸臂推拉舟,碳化硅槳最大載重17kg 氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管 氣體控制:進(jìn)口MFC 控制方式:工控機、觸摸屏 Thinnerwafers:180Um Break rate:0.8% 方阻均勻度范圍:片內(nèi)±5%,片間±5%,批間±5% |
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